Trycksensorn använder en monokristallin kiselskiva av N-typ som substrat. Först görs kiselskivan till ett segt, kraftbärande element med ett visst geometriskt mönster. Här görs den kraftbärande positionen för singelkristallkiselskivan till fyra diffusa motstånd av P-typ längs olika kristallriktningar, och sedan används de fyra motstånden för att bilda fyra Arm Wheatstone-broar, under påverkan av yttre kraft, förändringen av motståndsvärdet blir elektrisk signalutgång. Denna Wheatstone -bro med tryckeffekt är trycksensorns hjärta och kallas i allmänhet en piezoresistiv bryggkrets (figur 1). Egenskaperna hos den piezoresistiva bryggkretsen är: ①Motståndsvärdet för de fyra armarna i bryggkretsen är samma (alla R0); Pie Den piezoresistiva effekten av bryggkretsens intilliggande armar har samma nominella värde och motsatta tecken; ResistanceMotståndet hos de fyra armarna i bryggkretsen Temperaturkoefficienten är densamma och vid samma temperatur från början till slut. På figuren är R0 motståndsvärdet när det inte finns någon spänning vid inomhustemperaturen; 墹 RT är den förändring som orsakas av temperaturkoefficienten för motstånd (α) när temperaturen ändras; 墹 Rδ är motståndsförändringen som orsakas av töjningskraften (ε); bron Utgångsspänningen är u=I0 och Rδ=I0RGδ (konstant strömkällbrygga)
I formeln är I0 den konstanta strömkällströmmen och E är den konstanta spänningskällans spänning. Utgångsspänningen för den piezoresistiva bryggkretsen korreleras omedelbart positivt med töjningskraften (ε) och har ingenting att göra med RT som orsakas av resistans temperaturkoefficient, vilket kraftigt reducerar induktorns temperaturdrift. Den mest använda halvledartryckssensorn är en sensor för att testa vätsketryck. Nyckelstrukturen är alla membranlådor som består av fotovoltaiska cellråvaror (figur 2). Membranet görs till en koppform, och insidan av koppen är en del av den yttre kraften, och tryckbryggkretsen är gjord på botten av koppen. Använd samma kisel -kristallmaterial för att göra en cirkulär piedestal och bind därefter membranet till piedestalen. Denna typ av trycksensor har fördelarna med hög känslighet, liten storlek, stelning, etc., och har använts i stor utsträckning inom flygbolag, flyg, instrument och medicinsk utrustning.
